(1) ਪ੍ਰੀ-ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ
ਪ੍ਰੀ-ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਦਾ ਕੰਮ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣਾ ਹੈ ਕਿ ਐਚਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ ਇੱਕ ਨਿਰਧਾਰਿਤ ਵੈਕਿਊਮ ਪੱਧਰ 'ਤੇ ਬਣਾਈ ਰੱਖਿਆ ਜਾਵੇ, ਬਾਹਰੀ ਵਾਤਾਵਰਨ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਧੂੜ, ਪਾਣੀ ਦੀ ਵਾਸ਼ਪ) ਤੋਂ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਨਾ ਹੋਵੇ, ਅਤੇ ਸਾਫ਼ ਕਮਰੇ ਵਿੱਚੋਂ ਖ਼ਤਰਨਾਕ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਵੱਖ ਕੀਤਾ ਜਾਵੇ। ਇਸ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਕਵਰ, ਇੱਕ ਹੇਰਾਫੇਰੀ, ਇੱਕ ਪ੍ਰਸਾਰਣ ਵਿਧੀ, ਇੱਕ ਅਲੱਗ-ਥਲੱਗ ਦਰਵਾਜ਼ਾ, ਆਦਿ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।
(2) ਐਚਿੰਗ ਚੈਂਬਰ
ਐਚਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ICP ਐਚਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਦਾ ਮੁੱਖ ਢਾਂਚਾ ਹੈ। ਇਸ ਦਾ ਐਚਿੰਗ ਦੀ ਦਰ, ਐਚਿੰਗ ਦੀ ਲੰਬਕਾਰੀਤਾ ਅਤੇ ਖੁਰਦਰਾਪਣ 'ਤੇ ਸਿੱਧਾ ਅਸਰ ਪੈਂਦਾ ਹੈ। ਐਚਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਮੁੱਖ ਭਾਗ ਹਨ: ਉਪਰਲਾ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ, ਆਈਸੀਪੀ ਰੇਡੀਓ ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਯੂਨਿਟ, ਆਰਐਫ ਰੇਡੀਓ ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਯੂਨਿਟ, ਲੋਅਰ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਸਿਸਟਮ, ਤਾਪਮਾਨ ਕੰਟਰੋਲ ਸਿਸਟਮ, ਆਦਿ।
(3) ਗੈਸ ਸਪਲਾਈ ਸਿਸਟਮ
ਗੈਸ ਸਪਲਾਈ ਸਿਸਟਮ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਐਚਿੰਗ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਐਚਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਾਉਣਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਕੰਟਰੋਲਰ (ਪੀਸੀ) ਅਤੇ ਮਾਸ ਫਲੋ ਕੰਟਰੋਲਰ (ਐਮਐਫਸੀ) ਦੁਆਰਾ ਗੈਸ ਦੇ ਵਹਾਅ ਦੀ ਦਰ ਅਤੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨੂੰ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਨਾ ਹੈ। ਗੈਸ ਸਪਲਾਈ ਸਿਸਟਮ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਗੈਸ ਸਰੋਤ ਦੀ ਬੋਤਲ, ਇੱਕ ਗੈਸ ਡਿਲੀਵਰੀ ਪਾਈਪਲਾਈਨ, ਇੱਕ ਨਿਯੰਤਰਣ ਪ੍ਰਣਾਲੀ, ਇੱਕ ਮਿਕਸਿੰਗ ਯੂਨਿਟ, ਆਦਿ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।
(4) ਵੈਕਿਊਮ ਸਿਸਟਮ
ਇੱਥੇ ਦੋ ਵੈਕਿਊਮ ਸਿਸਟਮ ਹਨ, ਇੱਕ ਪ੍ਰੀ-ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਲਈ ਅਤੇ ਦੂਜਾ ਐਚਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਲਈ। ਪ੍ਰੀ-ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ ਇੱਕ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪੰਪ ਦੁਆਰਾ ਬਾਹਰ ਕੱਢਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਿਰਫ਼ ਉਦੋਂ ਹੀ ਜਦੋਂ ਪ੍ਰੀ- ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਵੈਕਿਊਮ ਪੱਧਰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਮੁੱਲ 'ਤੇ ਪਹੁੰਚ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਕਰਨ ਲਈ ਆਈਸੋਲੇਸ਼ਨ ਦਾ ਦਰਵਾਜ਼ਾ ਖੋਲ੍ਹਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
